光谱仪|北崎国际贸易（北京）有限公司

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RIGAKU理学斜入射X射线CD测量工具 RIGAKU理学斜入射X射线CD测量工具XTRAIA CD-3010G,可以使用 GISAXS 和 X 射线反射（XRR）测量来测量 CD，以测量薄膜厚度、密度和粗糙度。兼容*大 300 毫米的晶圆查看详情
RIGAKU理学透射X射线CD测量工具 RIGAKU理学透射X射线CD测量工具XTRAIA CD-3200T,TSAXS 是一种用于 CD 测量的在线小角 X 射线散射方法。*大 300 mm 晶圆*先进的设备微形状（浅/深图案）测量设备可以对纳米结构进行无损测量，例如横截面轮廓、深度、形状和倾斜度。获取反映横截面形状的 X 射线衍射图像。查看详情
RIGAKU理学自动 X 射线单晶取向测量系统 RIGAKU理学自动 X 射线单晶取向测量系统 FSAS III,Si、Ge、GaAs、SiC、石英、LN、LT、蓝宝石、金红石、萤石和各种其他单晶材料的切割方向被准确地传达到线锯和其他切割机。切割后的方向测量也可以准确进行，而不受作员的影响。查看详情
RIGAKU理学自动晶圆晶面取向 X 射线系统 RIGAKU理学自动晶圆晶面取向 X 射线系统 FSAS II,该设备自动测量晶圆主表面的切割角度、OF 和缺口位置。查看详情
RIGAKU理学高通量和高分辨率X射线系统 RIGAKU理学高通量和高分辨率X射线系统XRTmicron,该地形测量系统通过采用新型高亮度微 X 射线光源、特殊的 X 射线镜光学系统和高分辨率、高分辨率 X 射线相机，与传统系统相比，可以将测量时间缩短约一个数量级。可以自动执行从样品设置到测量的所有作。查看详情
RIGAKU理学射线衍射 XRD 系统 RIGAKU理学射线衍射 XRD 系统TFXRD-200,是一款专用的 XRD 工具，用于测量大直径晶圆上的薄膜，测量薄膜厚度、结晶度、复合材料的组成比、外延片晶格弛豫等。查看详情
RIGAKU理学射线衍射 XRD 系统 RIGAKU理学射线衍射 XRD 系统TFXRD-300,是一款专用的 XRD 工具，用于测量大直径晶圆上的薄膜，测量薄膜厚度、结晶度、复合材料的组成比、外延片晶格弛豫等。查看详情
RIGAKU理学在线 HRXRD/XRR 测量工具 RIGAKU理学在线 HRXRD/XRR 测量工具XTRAIA XD-3200,是一款多用途 X 射线计量工具，可在大批量生产中对橡皮布和图案化 300 mm 和 200 mm 晶圆上的单层和多层薄膜进行无损分析，吞吐量高。测量结果包括 X 射线反射（XRR）的薄膜厚度、密度和粗糙度，以及高分辨率 XRD （HRXRD）的外延膜厚度、成分、应变、晶格松弛和结晶度。查看详情