FSAS 二

自动晶圆晶面取向 X 射线系统 FSAS II

该设备自动测量晶圆主表面的切割角度、OF 和缺口位置。

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样品通过真空吸盘法固定。它会自动扫描 0°、90°、180° 和 270° 的每个平面内旋转位置，以检测峰值位置。根据晶圆的切割表面，计算并输出 X 和 Y 方向的偏差角。

它由触摸屏 PC作。

自动测量和计算消除了人为的测量误差。

2θ 设定（测量面）：Si （111）、（110）、（100）、（211）、（511）

样品尺寸：直径 φ200 mm 或直径 φ300 mm 的 OF 或缺口晶圆

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