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产品名称：RIGAKU理学在线 HRXRD/XRR 测量工具
产品型号：XTRAIA XD-3200
产品厂商：RIGAKU日本理学
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简单介绍：

RIGAKU理学在线 HRXRD/XRR 测量工具XTRAIA XD-3200,是一款多用途 X 射线计量工具，可在大批量生产中对橡皮布和图案化 300 mm 和 200 mm 晶圆上的单层和多层薄膜进行无损分析，吞吐量高。测量结果包括 X 射线反射（XRR）的薄膜厚度、密度和粗糙度，以及高分辨率 XRD （HRXRD）的外延膜厚度、成分、应变、晶格松弛和结晶度。

详情介绍：

RIGAKU理学在线 HRXRD/XRR 测量工具XTRAIA XD-3200

XTRAIA XD-3200

在线 HRXRD/XRR 测量工具

用于毛毯和图案化晶圆的高分辨率 XRD 外延膜表征

XTRAIA XD-3200 是一款多用途 X 射线计量工具，可在大批量生产中对橡皮布和图案化 300 mm 和 200 mm 晶圆上的单层和多层薄膜进行无损分析，吞吐量高。

测量结果包括 X 射线反射（XRR）的薄膜厚度、密度和粗糙度，以及高分辨率 XRD （HRXRD）的外延膜厚度、成分、应变、晶格松弛和结晶度。

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描述 XTRAIA XD-3200

适用于各种覆盖晶圆应用的 X 射线计量解决方案

晶体管（SiGe）、LED/LD （GaN、GaAs、InP）、MEMS/传感器（PZT、AlN）、新存储器（GST）、金属和多层膜

这种先进的 X 射线计量工具可在大批量生产中对 300 mm（和 200 mm）的毛毯晶圆进行高速测量，范围从超薄单层薄膜到多层层压板。

XTRAIA XD-3200 的出色性能归功于理学世界**的 X 射线组件的发展，包括高亮度 X 射线源技术、多层光学器件和具有超高动态范围和灵敏度的*先进的 2D 探测器。

XTRAIA XD-3200 提供：

X 射线反射率（XRR）用于评估所有类型的单层和多层薄膜（无定形、多晶、外延）的厚度、密度和粗糙度。
高分辨率 X 射线衍射（HRXRD）用于通过测量锁定曲线（RC）和倒易晶格空间映射（RSM）来评估外延膜的厚度、成分、应变和结晶度。
可以用 1/4χ 摇篮测量扭转/倾斜角度和晶体取向（极点）。

XTRAIA XD-3200 特征

用于高效加工和过程监控的在线功能

300 mm 和 200 mm 晶圆兼容性

利用高功率（9 kW）旋转阳极 X 射线源

配备二维探测器，用于准确收集数据

载物台和测角仪，用于灵活的样品定位

**分析软件支持**的数据解释

用于大批量生产（HVM）的工厂自动化（支持 GEM300、E84/OHT）

XTRAIA XD-3200 规格

技术	高分辨率 X 射线衍射（HRXRD）、X 射线反射（XRR）
用	多层材料和外延膜的无损晶圆分析评估薄膜厚度、成分、应变、晶格弛豫和结晶度
X 射线源	使用 9 kW 旋转铜反阴极面或 2.2 kW 铜封装管镜或 2/4 晶体进行线聚焦
科技	覆盖外延薄膜（例如 Si/SiGe 多层）
主要组件	毯状晶圆测量 X 射线探测器：2D （HyPix-3000） X 射线源：9 kWCu 旋转与阴极 X 射线光学元件：多达 2 个光栅 Ge（400）×2、Ge（220）×2、Ge（220）×4 高精度测角仪
特征	高强度旋转反阴极 chi-axis
本体尺寸	1656（宽） x 3689（深） x 2289（高）毫米
测量结果	HRXRD 和 XRR XRR、XRD、锁定曲线和倒数网格图（RSM）

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