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产品名称：RIGAKU理学高通量和高分辨率X射线系统
产品型号：XRTmicron
产品厂商：RIGAKU日本理学
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简单介绍：

RIGAKU理学高通量和高分辨率X射线系统XRTmicron,该地形测量系统通过采用新型高亮度微 X 射线光源、特殊的 X 射线镜光学系统和高分辨率、高分辨率 X 射线相机，与传统系统相比，可以将测量时间缩短约一个数量级。可以自动执行从样品设置到测量的所有作。

详情介绍：

XRT微米

高通量和高分辨率 X 射线地形图成像系统

无损检测晶体缺陷，如位错、表面穿透性位错和外延层缺陷

该地形测量系统通过采用新型高亮度微 X 射线光源、特殊的 X 射线镜光学系统和高分辨率、高分辨率 X 射线相机，与传统系统相比，可以将测量时间缩短约一个数量级。可以自动执行从样品设置到测量的所有作。
它可以无损地检测位错、穿透性位错等晶体缺陷，以及外延层中的缺陷。可应用于Si、SiC、GaN、Ge、GaAs、石英、LN、LT、蓝宝石、金红石、萤石等各种单晶材料。

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XRTmicron 概述

采用高亮度微 X 射线光源

透射形貌中使用的 Mo 射线源和反射形貌中使用的 Cu 射线源可以通过计算机控制进行切换。

采用特殊的 X 射线镜光学系统

具有多层薄膜平行光束准直器的单色和平行光束。

与晶体准直器兼容

极其平行的 X 射线束提供对晶格畸变敏感的反射形貌。

易于切换

您可以轻松地从计算机在观察晶体内部的透射形貌图和观察表面附近缺陷的反射形貌图之间切换。

使用高分辨率 X 射线 CCD 相机进行数字图像采集。

使用形貌图图像的晶体缺陷分析软件。

支持各种晶圆尺寸。兼容 3、4、6、8、12 和 18 英寸。

它水平容纳样品，并支持 3 英寸、4 英寸、6 英寸、8 英寸和 12 英寸晶圆的自动输送。

得益于自动曲率校正机制，即使是弯曲的晶体也可以根据其曲率进行拍摄。

XRTmicron 规格

产品名称	XRT微米
技术	X 射线地形图成像
用	单晶材料的无损评估
科技	在透明和反射地形之间切换
主要组件	高亮度微X射线光源、特种X射线镜光学系统、高分辨率、高分辨率X射线相机
选择	HR-XTOP 相机、晶体准直器、输送机、晶体缺陷软件
控制（PC）	外部 PC、MS Windows®作系统
本体尺寸	1800（宽） x 1980（高） x 1950（深）（毫米）
质量	约 2200 kg（主机）
电源要求	三相 200 V，15 A

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产品名称：RIGAKU理学高通量和高分辨率X射线系统