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RIGAKU理学斜入射X射线CD测量工具XTRAIA CD-3010G,可以使用 GISAXS 和 X 射线反射（XRR）测量来测量 CD，以测量薄膜厚度、密度和粗糙度。兼容*大 300 毫米的晶圆

详情介绍：

RIGAKU理学斜入射X射线CD测量工具XTRAIA CD-3010G

XTRAIA CD-3010G

斜入射 X 射线 CD 测量工具

可以使用 GISAXS 和 X 射线反射（XRR）测量来测量 CD，以测量薄膜厚度、密度和粗糙度。

兼容*大 300 毫米的晶圆

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技术	倾斜小角 X 射线散射测量（GISAXS）， X 射线反射测量（XRR）
用	浅层重复结构的临界尺寸测量
X 射线源	包合管，Cu Ka （8.04 KeV）
X 射线光学元件	多层反射镜光学元件
X 射线探测器	二维探测器
主要组件	图案化晶圆测量周期性精细3D形状线和空间，点或孔结构，浅孔/列，抗蚀剂，掩模图案，存储设备单元区域，FinFETs/GAAs
特征	图形识别和全晶圆映射
选择	GEM300 软件，支持 E84/OHT
本体尺寸	1865（宽）× 3700（深）× 2115（高）毫米，2965 公斤（包括装载口）
测量目标	GISAXS：间距、CD、高度、SWA（侧壁角度）、RT（顶部圆角）、RB（底部圆角）、线宽分布、间距分布、高度分布 XRR：薄膜厚度、密度和粗糙度

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