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产品名称：RIGAKU理学透射X射线CD测量工具
产品型号：XTRAIA CD-3200T
产品厂商：RIGAKU日本理学
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简单介绍：

RIGAKU理学透射X射线CD测量工具XTRAIA CD-3200T,TSAXS 是一种用于 CD 测量的在线小角 X 射线散射方法。*大 300 mm 晶圆*先进的设备微形状（浅/深图案）测量设备可以对纳米结构进行无损测量，例如横截面轮廓、深度、形状和倾斜度。获取反映横截面形状的 X 射线衍射图像。

详情介绍：

RIGAKU理学透射X射线CD测量工具XTRAIA CD-3200T

XTRAIA CD-3200T

透射 X 射线 CD 测量工具

TSAXS 是一种用于 CD 测量的在线小角 X 射线散射方法。

*大 300 mm 晶圆

*先进的设备微形状（浅/深图案）测量设备

可以对纳米结构进行无损测量，例如横截面轮廓、深度、形状和倾斜度。获取反映横截面形状的 X 射线衍射图像。

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描述 XTRAIA CD-3200T

我们提供适用于各种形状的半导体器件的设备阵容。

可以无损地测量横截面轮廓、深度、形状和倾斜度等纳米结构。

您无需事先进行任何文库制备即可开始测量和分析。它可以准确测量光刻胶等有机材料，而不会收缩。

应用实例

使用 TSAXS 对深孔进行无损测量
TSAXS 和横截面扫描电子显微镜（SEM）叠加
TSAXS 侧壁 TiN 膜的厚度分布
CD 和面内倾斜角在晶圆平面中的分布。
深度 CD 配置文件

XTRAIA CD-3200T 规格

技术	小角 X 射线散射 - 透射模式（TSAXS）
用	高深宽比（HAR）结构的关键尺寸测量
X 射线源	旋转与阴极（Mo Ka， 17.4 keV）
X 射线光学元件	多层反射镜光学元件
X 射线探测器	HyPix 6000HE （二维）
主要组件	图案化晶圆测量：周期性微观 3D 形状、深孔/柱结构、DRAM、3D-NAND、3D LSI 结构
特征	图形识别和全晶圆映射
选择	GEM300 软件，支持 E84/OHT
本体尺寸	4020（宽） × 2500（深） × 3450（高）毫米
测量目标	节距、CD、高度、侧壁厚度、SWA（侧壁角度）、RT（圆顶）、RB（圆底）、CD 分布、节距分布、高度分布

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产品名称：RIGAKU理学透射X射线CD测量工具

XTRAIA CD-3200T

透射 X 射线 CD 测量工具

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