产品列表
  • RIGAKU理学高通量和高分辨率X射线系统 RIGAKU理学高通量和高分辨率X射线系统XRTmicron,该地形测量系统通过采用新型高亮度微 X 射线光源、特殊的 X 射线镜光学系统和高分辨率、高分辨率 X 射线相机,与传统系统相比,可以将测量时间缩短约一个数量级。 可以自动执行从样品设置到测量的所有作。 查看详情
  • RIGAKU理学射线衍射 XRD 系统 RIGAKU理学射线衍射 XRD 系统TFXRD-200,是一款专用的 XRD 工具,用于测量大直径晶圆上的薄膜,测量薄膜厚度、结晶度、复合材料的组成比、外延片晶格弛豫等。 查看详情
  • RIGAKU理学射线衍射 XRD 系统 RIGAKU理学射线衍射 XRD 系统TFXRD-300,是一款专用的 XRD 工具,用于测量大直径晶圆上的薄膜,测量薄膜厚度、结晶度、复合材料的组成比、外延片晶格弛豫等。 查看详情
  • RIGAKU理学在线 HRXRD/XRR 测量工具 RIGAKU理学在线 HRXRD/XRR 测量工具XTRAIA XD-3200,是一款多用途 X 射线计量工具,可在大批量生产中对橡皮布和图案化 300 mm 和 200 mm 晶圆上的单层和多层薄膜进行无损分析,吞吐量高。测量结果包括 X 射线反射 (XRR) 的薄膜厚度、密度和粗糙度,以及高分辨率 XRD (HRXRD) 的外延膜厚度、成分、应变、晶格松弛和结晶度。 查看详情
  • RIGAKU理学在线 HRXRD/XRR 测量工具 RIGAKU理学在线 HRXRD/XRR 测量工具XTRAIA XD-3300,是一款多用途 X 射线计量工具,可在大规模生产中以高通量对橡皮和图案化 300 mm 和 200 mm 晶圆上的单层和多层薄膜进行无损分析。测量结果包括 X 射线反射 (XRR) 的薄膜厚度、密度和粗糙度,以及高分辨率 XRD (HRXRD) 的外延膜厚度、成分、应变、晶格松弛和结晶度。 查看详情
  • RIGAKU理学在线X射线胶片密度监测器 RIGAKU理学在线X射线胶片密度监测器XTRAIA MF-3000, 查看详情
  • RIGAKU理学在线X射线胶片厚度监测器 RIGAKU理学在线X射线胶片厚度监测器XTRAIA MF-3000, 查看详情
  • RIGAKU理学XRREDXRF和XRD 测量工具 RIGAKU理学XRREDXRF和XRD 测量工具XTRAIA MF-2000,对*大 200 mm 的晶圆进行成分和厚度 (EDXRF)、厚度、密度和粗糙度 (XRR) 的高精度测量,以检测光学或超声技术无法实现的无图案和图案薄膜。 这种先进的 X 射线计量工具使产品和毯状晶圆的高通量测量变得实用,从超薄单层薄膜到多层层压板。 查看详情
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