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产品名称：RIGAKU理学在线 HRXRD/XRR 测量工具
产品型号：XTRAIA XD-3300
产品厂商：RIGAKU日本理学
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简单介绍：

RIGAKU理学在线 HRXRD/XRR 测量工具XTRAIA XD-3300,是一款多用途 X 射线计量工具，可在大规模生产中以高通量对橡皮和图案化 300 mm 和 200 mm 晶圆上的单层和多层薄膜进行无损分析。测量结果包括 X 射线反射（XRR）的薄膜厚度、密度和粗糙度，以及高分辨率 XRD （HRXRD）的外延膜厚度、成分、应变、晶格松弛和结晶度。

详情介绍：

XTRAIA XD-3300

在线 HRXRD/XRR 测量工具

用于毛毯和图案化晶圆的高分辨率 XRD 外延膜表征

XTRAIA XD-3300 是一款多用途 X 射线计量工具，可在大规模生产中以高通量对橡皮和图案化 300 mm 和 200 mm 晶圆上的单层和多层薄膜进行无损分析。

测量结果包括 X 射线反射（XRR）的薄膜厚度、密度和粗糙度，以及高分辨率 XRD （HRXRD）的外延膜厚度、成分、应变、晶格松弛和结晶度。

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描述 XTRAIA XD-3300

它支持各种应用，包括在线 XRD/XRR 多层层压板、金属薄膜、压电薄膜、SiGe 和化合物半导体薄膜的厚度和成分分析。您可以根据自己的应用选择*佳的设备配置。

XRD 和 XRR 分析可以通过内联实现自动化。

XTRAIA XD-3300 特点

用于高效处理的在线功能

载物台和测角仪，用于灵活的样品定位

利用光束尺寸低至 40 μm 的高分辨率 X 射线束

完全自动化，实现高效运营

兼容 200 mm 和 300 mm 晶圆

配备 2D 探测器，用于**数据收集

使用**分析软件支持**的数据解释

XTRAIA XD-3300 规格

技术	高分辨率 X 射线衍射（HRXRD）、X 射线反射（XRR）
用	用于覆盖/图案外延薄膜的双光束（线和 40 μm 微点）图案识别
X 射线源	1：9 kW 旋转铜与阴极或 2.2 kW 铜封装管 2：用于测量图案化晶圆的 COLORS™ 混合铜束模块
主要组件	毯状和图案化晶圆计量 X 射线光学元件：多达 2 个光栅 Ge（400）×2、Ge（220）×2、Ge（220）×4 X 射线探测器：2D （HyPix-3000）微光斑尺寸、模式识别、高强度和 χ 轴高精度测角仪
特征	COLORS™ 混合铜离子模块，具有高强度旋转反阴极和微点光束
选择	光栅、各种光学元件 GEM300 软件、E84/OHT 支持
本体尺寸	1656（宽） x 3689（深） x 2289（高）毫米
测量结果	HRXRD、XRR、锁定曲线和倒数网格图（RSM）

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