产品列表
  • ULVAC爱发科RF电源 / 匹配切换机 RFS-N系列是输出频率13.56MHz、功率0.5kW/1/kW/3kW/5kW的等离子工艺用RF电源。 查看详情
  • ULVAC爱发科RF电源 / 匹配切换机 RMG-1303是适用于RF溅射、CVD、刻蚀等,等离子工艺的13.56MHz,300W功率的匹配器一体式RF电源。匹配器和RF电源一体化设计,体积小、重量轻。适用于从研究开发设备到量产设备的广泛领域。 查看详情
  • ULVAC爱发科DC脉冲电源 DC-P系列是对反应性工艺中产生的电弧有效的电源。 由于设定了的周期性反转输出电压,中和靶材表面积蓄的电荷,实现了良率和产能的提高。 查看详情
  • ULVAC爱发科DC脉冲电源 DC-P系列是对反应性工艺中产生的电弧有效的电源。 由于设定了的周期性反转输出电压,中和靶材表面积蓄的电荷,实现了良率和产能的提高。 查看详情
  • ULVAC爱发科双阴极用双极元件 MFU-20K是通过与ULVAC制DC电源组合,将直流输出转换为双极脉冲输出的单元。 以低成本实现良率和产量的提高。 查看详情
  • ULVAC爱发科异常放电防止单元 A2K系列是在反应性溅射工艺中,在DC电源输出上脉冲施加正电压,中和靶材上的积蓄电荷来防止异常放电的附加单元。 能在原来的电源上简单的追加,低成本实现产量和良率提高。 查看详情
  • ULVAC爱发科异常放电防止单元 A2K系列是在反应性溅射工艺中,在DC电源输出上脉冲施加正电压,中和靶材上的积蓄电荷来防止异常放电的附加单元。 能在原来的电源上简单的追加,低成本实现产量和良率提高。 查看详情
  • ULVAC爱发科异常放电防止单元 A2K系列是在反应性溅射工艺中,在DC电源输出上脉冲施加正电压,中和靶材上的积蓄电荷来防止异常放电的附加单元。 能在原来的电源上简单的追加,低成本实现产量和良率提高。 查看详情
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