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产品详情
简单介绍：
MFU-20K是通过与ULVAC制DC电源组合，将直流输出转换为双极脉冲输出的单元。
以低成本实现良率和产量的提高。
详情介绍：
MFU-20K是通过与ULVAC制DC电源组合，将直流输出转换为双极脉冲输出的单元。以低成本实现良率和产量的提高。
特点
-
频率范围宽
可以在10kHz～100kHz的范围内 ※1 -
主/从连接允许大容量
*多可以进行6台并行操作 -
可以DC输出
输入DC电源的输出可以照原样施加到阴极 ※2
用途
- FPD用反应溅射设备
- 工业涂层用反应溅射设备
- 彩色TFT用反应溅射设备
- 一般溅射设备
规格
| 型 | MFU-20K型 | |
| 控制电源输入 | 额定输入电压 | AC100V/AC240V |
| 输入电压波动范围 | AC90 至 264V | |
| 相位、频率 | 1 相 50/60Hz | |
| 输入容量 | 400VA的 | |
| 输入规格 | 工作电压 | 0 至 -1000V※1 |
| 空载电压 | -1200V | |
| 工作电流 | 50安培 | |
| 输出规格 | *大额定电压 | 1000V（有效值）※1 |
| 空载电压 | DC-1200V | |
| *大额定电流 | 50安培 | |
| 振荡频率 | 10k 至 100kHz※2 | |
| 占空比 | 10 至 90%※3 | |
| 冷却方式 | 强制风冷 | |
| 尺寸（W×D×H） | 483mm×630mm×177mm（不含突起部分） | |
| 重量 | 37公斤 | |
| 适用标准 | CE/SEMI F47/RoHS | |
环境工作温度 5°C ~ 40°C（无凝露）
操作环境：避免阳光直射、高温、灰尘、振动，且无腐蚀性气体。
※1：电压超过800V时频率受限制。
※2：输出在频率超过60kHz时受到限制。
※3：占空比根据振荡频率而受限制。
产品留言
