玛瑙 3200

在线双头微点 XRF

双 X 射线源（多毛细管/单色）*大

300 mm 晶圆

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ONYX 3200 是市场上*先进的混合测量解决方案。这款双头**代工具结合了先进的 μ-XRF 和光学技术，可在在线半导体制造中提供高精度缺陷检测和*高吞吐量。

ONYX 系列系统旨在为从 FEOL 到 WLP 的整个制造过程提供整体计量方法。这包括非常适合先进封装和单凸块应用的配置，并且可以监控 Ag/Sn 比率。

2D 显微镜	2D 显微镜的放大倍率	3D 扫描仪

测量类型	双头微点 EDXRF 和光学检测（2D-3D）
晶圆尺寸	*大 300 毫米
晶圆类型	橡皮布和图案晶圆
导航	精密载物台辅以图像识别算法，亚微米级快速导航至单个特征中心
微区 XRF 光束方向	垂直入射微点（μXRF）
光学	“多色”（X 射线光学）和 COLORS“单色”（X 射线光学）
Micro XRF 光束光斑尺寸	可调范围为 10 至 50 μm
检测器类型	硅漂移检测器（SDD）：3 种配置 1. 常规 > al 2. 轻元素：C、N、O、F、S 3。重元素：> Ge（针对 Ag、Sn 进行了优化）
数字脉冲处理器	每秒 >100 万个光子的高效率

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