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简单介绍：

RIGAKU理学混合XRF和光学测量FAB工具ONYX 3000，能量色散 X 射线荧光光谱仪（ED-XRF）能够以非破坏性、非接触的方式同时分析 300 mm 和 200 mm 晶圆上各种薄膜的厚度和成分。

详情介绍：

RIGAKU理学混合XRF和光学测量FAB工具ONYX 3000

缟玛瑙 3000

混合 XRF 和光学测量 FAB 工具

能量色散 X 射线荧光光谱仪（ED-XRF）能够以非破坏性、非接触的方式同时分析 300 mm 和 200 mm 晶圆上各种薄膜的厚度和成分。

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产品名称	缟玛瑙
技术	X 射线荧光和光学显微镜
用	它可以测量从超薄单层薄膜到多层堆栈的薄膜。 BEOL 和 WLP 结构的表征
科技	处理微点 EDXRF 和 2D、3D 光学显微镜
主要组件	基于 SEMIS2 和 SEMIS8 微点多毛细管 X 射线光学元件的设计
选择	SECS/GEM 通信软件、COLORS 光束模块
控制（PC）	内部 PC、MS Windows®作系统
本体尺寸	1390 （宽） x 2040 （高） x 2960 （深）毫米
质量	1250 kg（主机）
权力	单相 208 VAC 50/60 Hz，16A

微点 X 射线束和模式识别

器件结构的 2D 和 3D 光学特性

高通量、橡皮布和产品晶圆测量

广泛的材料和应用

高分辨率和精度，覆盖从埃到微米的厚度

氦气吹扫测量环境，确保轻元素灵敏度

可针对 300 mm 或更小的晶圆进行配置

基于 SEMIS2 和 SEMIS8 的设计

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