产品详情
  • 产品名称:THERMOCERA日本石墨烯/碳纳米管合成器

  • 产品型号: nanoCVD-8N
  • 产品厂商:THERMOCERA日本K.K
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简单介绍:
一批只需30分钟,即可轻松合成上等石墨烯和碳纳米管
详情介绍:

CVD(化学气相沉积)

CVD法是一种稳定的技术,已经建立起来用于多种用途,是未来考虑石墨烯和碳纳米管大规模合成时*现实的方法。 制造商 Moorfield 与英国国家研究所合作,反复验证了这种沉积实验设备。 在研究机构的合作下,已经验证了利用拉曼光谱、SEM、AFM等分析数据可以生产出高质量的石墨烯和CNT Mr./Ms.。
 

冷壁CVD

采用反应快、重现性优异的冷壁/高温样品加热台(热板)。 设备更小,加工时间缩短,操作优良,可创建和储存30种合成配方。 除了标准系统配置外,还可以根据要求定制设备配置。 nanoCVD系统是一种小型实验装置,具有无限潜力,可以为基础研发领域做出贡献。

特征

 

  • 石墨烯和碳纳米管(SWNT)沉积实验可以很容易地进行,而无需使用大型设备。
  • 1批只需30分钟!
  • 采用冷壁式高效、高精度的过程控制
  • 快速升温:RT→1100°C/约3分钟
  • 高性能机器,具有高精度的温度流量控制和出色的重现性
  • 简单易用! 通过 5 英寸触摸屏进行操作和配方管理
  • *多可以创建和保存 30 个配方,30 个合成程序步骤。
  • 标配专用软件,输出为CSV文件,在PC上记录数据
  • USB线连接,PC端创建配方→上传到设备

外形图

主要技术指标

A. 主要规格

1.反应室室

不锈钢SUS304检漏

2.加热阶段

陶瓷

3. 对应样本量

20 x 40毫米

4.加热加热器

高纯石墨加热器 Max1050°C

5.温度控制

包括K型热电偶标准(安装在加热阶段下方)

 

B. 过程控制设备规格

1.气体控制

质量流量控制器 x 3 (Ar, H2, CH4)

2.压力控制

20托尔 F.S.

3.真空排气

带 RV3 的 Edwards 旋转泵(3m³/hr)

4.操作面板

前置5英寸触摸屏(欧姆龙制造)

5.风冷

用于机柜内部冷却的冷却风扇

6.控制系统

PLC自动过程控制

 

C. 软件(标准附件)

1. nanoCVD软件

包括标准(安装石墨烯的标准程序)

2. 接口

USB 2.0 连接

3. 设置数量

*多可编程和保存 30 个配方,30 个步骤

 

D. 进气口连接规格

1. 工艺气体

3 x Ar、H2、CH4 1/4“ 世伟洛克管连接

2.载气

N2,或氩φ6mm推锁管连接 x 1

 

E. **装置

1.过热

由加热级安装热电偶控制

2. 机柜内部过热

从内部热开关

3.气压异常

来自质量流量控制器

4.降低真空度

来自真空传感器

 

F. 公用事业

权力

AC200V 单相 50/60Hz 13A

1. 工艺气体压力

*大 30psi 200sccm

2.载气压力

60-80磅/平方英寸

 

G. 尺寸和重量

1. 外形尺寸

405mm(宽) x 415mm(深) x 280mm(高)

2.重量

约27kg

nanoCVD-8G(石墨烯)

纳米CVD-8N(碳纳米管)

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