ULVAC爱发科皮拉尼真空计传感器型 SP1 北崎国际贸易（北京）有限公司

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产品名称：ULVAC爱发科皮拉尼真空计传感器型
产品型号：SP1
产品厂商：ULVAC爱发科
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简单介绍：

传感器单元(SP1)是G-TRAN系列的皮拉尼真空计测量单元。「测定子和电路一体型(测定子可以更换)」结构，能够降低成本和节省空间。

详情介绍：

传感器单元(SP1)是G-TRAN系列的皮拉尼真空计测量单元。「测定子和电路一体型(测定子可以更换)」结构，能够降低成本和节省空间。

特点

传感器规格：如果不需要压力指示器
・真空计成降低
・控制板空间节省
・配线简化
测定子更换更容易
灯丝使用耐腐蚀材料铂
到目前为止使用的测量部件（SP1：WP-01,02,03,16）仍在使用
可以输出2个设定点
SP1：压力为0至5 V输出（非线性输出）
电源电压：24 VDC输入

用途

用于半导体・电子部件等各种制造设备的低真空领域的工艺控制
用于炉等各种工业设备的低真空领域的工艺控制
用于in-line式・枚叶式等工艺腔室多的各种制造设备的低真空领域的工艺控制

规格

类型	传感器单元
型	SP1系列
兼容传感器头	WP-01、WP-02、WP-03、WP-16
准确性	±15 %（51 Pa ~760 Pa）
	±30 %（10 Pa ~1000 Pa）
	±50 %（0.4 Pa ~3000 Pa）
工作温度范围	10~40°C
测量值输出	非线性输出：0 至 5VDC（*大 10V）
设定点 1/2 压力设定调整监视器	非线性输出：0 至 5VDC（*大 10V）
控制输出信号	集电极开路输出，负逻辑
	错误信号
	设定值 1/2
LED显示屏	功率、误差、设定点 1、设定点 2
电源电压	DC24V±2V，90mA（*大）
输入/输出连接器	D-sub-15P（M2.6螺丝）
重量	190 克/0.41 磅（不包括传感器头）
标准配件	输入/输出连接器 1pc
标准配件	快速手动 1pc

IO 和模拟 GND 不与电源 GND 隔离。

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