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ULVAC爱发科冷阴极电离真空计 G-TRAN系列是为了使各种设备的工艺控制集中化以及小型化而开发的真空计,(1)降低设备成本,(2)节省空间,(3)节省布线。 由传感器单元和显示单元的基本单元构成,可根据用途组合。 查看详情
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ULVAC爱发科热阴极电离真空计通用 AxTRAN是在离子源和离子收集器之间配置了Bessel-Box型能量过滤器的热阴极电离真空计。 由于降低了软X射线,ESD离子等的残留电流,实现了0.5×10-10 Pa的测定分辨率。 查看详情