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  • 产品名称:日本KAIJO晶圆级凸块键合机

  • 产品型号:FB-x26凹凸3
  • 产品厂商:KAIJO凯捷
  • 产品文档:
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简单介绍:
兼容*大 8 英寸的晶圆 FB-x26BUMP3晶圆级键合机单独使用时,使用手动转移方法支持*大8英寸的晶圆。 通过连接到可选的运输系统“WHS-996”,它也可以用作全自动转移粘合机。
详情介绍:

日本KAIJO晶圆级凸块键合机FB-x26凹凸3




FB-x26凹凸3

  • 两个晶圆级提高生产率
  • 升级的可追溯性和自我诊断
  • 可与晶圆进料 WHS-996 结合使用进行自动输送

主要规格

粘接性能 粘接精度(不包括自学精度
±3.0微米(3σ)
粘接范围 *大 200 mm(8 英寸)(手动安装规格) 自动传输规格的晶圆外周长超出键合范围 2.5 mm 示例)

8 英寸:周长直径为 195 mm 是粘合范围
生产力 粘合时间 30毫秒/碰撞(药丸切割模式)40毫秒/碰撞(固定切割模式)
兼容的运输系统 晶圆尺寸 高达 8 英寸
输送方式 半自动运输(手动运输)
*可与WHS-996结合使用进行全自动运输
其他 外部尺寸 FB-x26凹凸3 : 宽1,132×深1,234×高1,728mm
WHS-996 : 宽680×深1,190.5×高1,424
重量 FB-x26颠簸3:600公斤 WHS-996:300公斤


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