长处

• 排气系统和控制系统是集成的，可以垂直安装，并且世界上*小的占地面积使得即使在空间有限的生产线上也可以监测反应气体。
• 在维护期间更换耗材套件的速度得到了显着提高，两名工人的 120 分钟工作可以由一个人在 10 分钟内完成。
• 双灯丝即使在**根灯丝断裂的情况下也能在不停止生产线的情况下进**体分析。
• 触摸面板用于实时检查状态。
• 从启动到测量的作只能在计算机上完成。
• 得益于我们专有的带磁体的闭式离子源，即使在反应过程中，也可以进行长期稳定的测量。
• 电离室气体解离少，灵敏度高，仅使用法拉第杯即可实现高灵敏度气体分析。
• 紧凑的流路控制阀，可防止热反应引起的分解和吸附。
• 缩短了从工艺室到离子源的距离，并且可以快速响应分解。
• 加强预防性维护功能 离子源和二次电子倍增管的
  预防性维护 安装
  分析管的可追溯性功能（**号 5016031）
• 标准软件与 Windows 8/10/11 兼容。

用

CVD、ALD 和蚀刻设备

• 过程中的反应气体监测
  
• 蚀刻清洗过程的端点监控
  器
• 残余气体测量

规范

传感器