具有可选光学元件的高精度测角仪

XRD 系统适用于所有薄膜 XRD 应用，包括一个 XY 可移动载物台，用于映射高达 300 mm 的晶圆。

该系统可确保样品保持完整，并可以毫无问题地用于其他实验和分析。 它为您的所有研发需求提供了*准确和可靠的结果。

用于晶圆厂附近应用的 XRD 系统映射工具

它可用于改进材料分析、加强质量控制和优化制造流程。

薄膜

• **的厚度和成分
• 晶体信息
• 应力和应变分析
• 无损表征
• 多层分析
• 先进材料开发

XRR 厚度的专用系统

确定薄膜、涂层和多层结构的厚度、密度和界面粗糙度。

GaAs（004）、立方 GaN（002）、六方 GaN（0004） 表征

**分析晶体取向并控制材料生长和加工，以实现电子和光电器件所需的性能。