产品详情
  • 产品名称:ULVAC爱发科皮拉尼真空计传感器型

  • 产品型号:SW1-2
  • 产品厂商:ULVAC爱发科
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简单介绍:
皮拉尼真空计,可以测量从大气压到5×10-2Pa的广泛的压力范围 该真空计从传统的控制器(传感器单元)中除去操作·显示部,*大限度凝缩精简功能,使「降成本」和「省空间」成为可能。
详情介绍:
皮拉尼真空计,可以测量从大气压到5×10-2Pa的广泛的压力范围
该真空计从传统的控制器(传感器单元)中除去操作·显示部,*大限度凝缩精简功能,使「降成本」和「省空间」成为可能。

特点

  • 测量范围:可以进行从大气压到5×10-2 Pa
  • 抗冲击性提高:具有高抗冲击性的结构设计(正在申请**)
  • 优异的大气压精度:无论真空计的安装位置如何,精度均在±20%以内(日本**第4878289号)
  • 灯丝材料·铂(Pt):由高度耐腐蚀的铂制成的灯丝
  • 可视化程度提高:配备可确认异常的LED
  • 一触式调整:一键式即可进行大气压力调整和零点调整
  • 维护:更换测定子更轻松
  • 适用测定子扩展:除了NW16/ 25规格外,还将Φ15/18规格,拼接法兰规格和锥形螺丝R1/ 8规格添加到产品阵容中

  • 太阳能电池・FPD・半导体・电子部件等各种制造设备
  • 用于设备的低真空领域的工艺控制
  • 用于炉等各种工业设备的低真空领域的工艺控制
  • 用于in-line式・枚叶式等工艺腔室多的各种制造设备的低真空领域的工艺控制
  • 用于有振动・冲击的各种真空排气系统

规格

SW1-1型 SW1-2型
可连接传感器头 1 件
兼容传感器头 SWP-16(NW16)、SWP-25(NW25)、SWP-R1/8(R1/8)、SWP-P18(φ18)、SWP-P15(φ15)、SWP-CF16(ICF034)、SWP-1S(ASME BPE 卫生级 1“)
可测量的压力范围 5.0×10-2~ 1.0×10+5Pa(Pa(表示範囲:1.0×10-2~ 1.2×10+5(宾夕法尼亚州)
准确性* 1×10-1对于 ~1×10+4通过 : ±10%
5.0×10-2~ 1.0×10-1星期三, 1×10+4对于 ~1×10+5通过 : ±20%
重复性 1×10-1对于 ~1×10+4通过 : ±2%
采样时间 50ms 5 移动平均线处理
价值输出 输出电压 DC 0 至 10V
压力指示 (Log) 1.7V 至 8.0V 1V/十倍频程
(更新时间) 50ms
控制输入信号 集电极开路输入,负逻辑 -
ADJ调整(零点,大气调节) -
控制输出信号

集电极开路输出,负逻辑 [额定值:30VMAX、50mAMAX、70mW]

-
错误信号 -
设定点 1、2 -
监控设定值 设定点 1、2:0 至 10V 对数输出 -
串行通信类型 - RS232C/RS485接口
LED显示屏 POWER/ERROR:电源错误 LED
SET-1:设定点 1LED -
SET-2:设定点 2LED -
长丝材料
工作温度范围 10~40°C
工作湿度范围 15 ~ 80% (不凝结)
IP 等级 IP30 (传感器单元)
固定位置 自由
电源电压 DC18V ~ 30V, 2W (4.8W w/电源输入)
输入/输出连接器 D-sub 15 针(M2.6mm 螺丝)- 侧面传感器单元
重量 150g(含SWP-16)
尺寸(电源) W×D×H 70毫米×46毫米×28毫米
标准配件 快速手册
选择 输入/输出连接器(D-sub 15 插座(M2.6mm 螺钉))、检查结果数据表、通用校准测试报告、JCSS 校准证书
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