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简单介绍：
采用了偏光光学系和多通道分光检出器 有可对应各种尺寸的装置，从1mm大小的光学素子到第10代的大型基板 **对策和粒子对策，可对应液晶line内的检查设备 测量项目...
详情介绍：
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使用独有的光谱仪实现高精度测量
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