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产品详情
简单介绍：
采用分光干涉法 搭载高精度FFT膜厚解析系统
详情介绍：
特 点
● 采用分光干涉法
● 搭载高精度FFT膜厚解析系统（** 第4834847号）
● 使用光学光纤，可灵活构筑测量系统
● 可嵌入至各种制造设备。
● 实时测量膜厚
● 可对应远程操作、多点测量
● 采用寿命长、**性高的白色LED光源
测量项目
多层膜厚解析
用 途
光学薄膜（超硬涂层、AR薄膜、ITO等）
FPD相关（光刻胶、SOI、SiO2等）
设备构成
单点型
半导体晶圆的面内分布测量
玻璃基板的面内分布测量
多点型
实时测量
流向品质管理
真空室适用
导线型
实时测量
宽度方向品质管理
测量案例
超硬涂层的膜厚解析
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