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产品详情
简单介绍：
OPTM是一款基于显微分光技术、通过微区**反射率测量来实现高精度膜厚与光学常数精准解析的设备。
详情介绍：
规格式样
（自动XY平台型）
|
|
OPTM-A1
|
OPTM-A2
|
OPTM-A3
|
|---|---|---|---|
| 波长范围 | 230 ~ 800 nm | 360 ~ 1100 nm | 900 ~ 1600 nm |
| 膜厚范围 | 1nm ~ 35μm | 7nm ~ 49μm | 16nm ~ 92μm |
| 测定时间 | 1秒 / 1点以内 | ||
| 光径大小 | 10μm (*小约3μm) | ||
| 感光元件 | CCD | InGaAs | |
| 光源规格 | 氘灯 卤素灯 | 卤素灯 | |
| 尺寸 | 556(W) X 566(D) X 618(H) mm (自动XY平台型的主体部分) | ||
| 重量 | 66kg（自动XY平台型的主体部分） | ||
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