Name: 日本OTSUKA大塚 分光干涉式晶圆膜厚仪
Brand: OTSUKA大塚
SKU: SF-3

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简单介绍：

日本OTSUKA大塚分光干涉式晶圆膜厚仪

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规格式样

型号	SF-3/200	SF-3/300	SF-3/800	SF-3/1300
尺寸	123（W）x 224(D)x 128(H)mm
硅片测量厚度范围	6~400μm	10~775μm	20~1000μm	50~1300μm
树脂厚度范围	10~1000μm	20~1500μm	40~2000μm	100~2600μm
*小采样周期	5kHz(200μsec)
重复精度	0.01 %以下（*1）
测量光斑直径	φ20μm以上（*2）
测量距离	50 、80、120、150 、200mm
光源	半导体光源（镭射Class3B）
分析方法	FFT分析法
接口	LAN, I/O端口
电源	DC24V （AC电源需另外购入）
选配件	多种测试距离套筒、电源单元（AC用）、AL基准、测试光检出标的、光纤清洁器

*1 ：初始标准样品在约 1000 μm 空气间隙测量时的相对标准偏差 (n = 20)

*2 ： WD80 mm 探头规格时的设计值

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产品名称：日本OTSUKA大塚 分光干涉式晶圆膜厚仪

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