产品名称：ULVAC爱发科 真空阀，日本进口

ULVAC爱发科 真空阀 UTM1300A-MS

ULVAC爱发科 真空阀 UTM1300A-MS

特色
泵体和控制器部分是分开
的，方便你监控运行状态并支持各种通信标准。
免费安装指导：安装方向无限制
，扩展了设备设计的自由度。
300L/s ~ 4000L/s 级别排气速度列表
泵速可在25~100%范围内
调节，允许调节腔室压力。
高耐用性和**性
：通过大气层进入和着陆测试等多项**验证测试。
目的
各类设备的
真空主排气系统 - 半导体制造设备
- 沉积设备
- 溅射
设备 - 分析设备、实验设备等
- 研发设备
光过程的主排气系统，不产生副反应产物
高真空排气的其他一般应用

ULVAC（爱发科）是日本知名的综合性真空技术解决方案提供商。其真空阀产品基于在真空领域积累的丰富技术与经验开发，可满足从大气压到超高真空（10⁻¹² Pa） 的广泛需求。
ULVAC的真空阀产品系列丰富，主要包括：
真空角阀（VLP、VLB、VLH系列）：即L型阀，主体采用SUS304不锈钢材质，部分型号可烘烤至150℃。提供JIS-VF、ISO-KF、ISO-K、ISO-CF四种法兰接口，尺寸范围从16A到900A（36英寸）。驱动方式有双作用气缸、单作用气缸和手动可选。其泄漏率可低至1.0×10⁻¹⁰ Pa·m³/s以下，广泛应用于半导体、FPD、光伏等领域的真空系统。
摆动阀（VFR系列）：一种大型闸阀，采用ULVAC**技术，通过特殊密封机构和反向压力消除机构，*大限度减少颗粒产生、阀门磨损和振动。阀体可方便地从真空系统上拆卸，易于维护。主要应用于OLED、光伏、玻璃、平板显示器（FPD）等大型制造系统。
此外，对于有高洁净度或特殊流体控制需求的场合，ULVAC还可提供如VAH系列等针对特定工艺设计的阀门产品。