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产品详情
简单介绍：
ULVAC爱发科 真空阀 VLPｰSA040JH
详情介绍：
ULVAC爱发科 真空阀 VLPｰSA040JH
ULVAC爱发科 真空阀 VLPｰSA040JH
ULVAC（爱发科）的真空阀基于其在真空领域积累的深厚技术与丰富经验开发，提供从常压到超高真空的广泛产品系列，是半导体、光伏、显示器制造等领域真空系统中的关键组件。
核心性能与高密封性
以VLP-SA系列角阀为例，其内外漏率均可控制在1.0×10⁻¹⁰ Pa·m³/s以下，阀板*大允许压差为0.10MPa，工作压力范围覆盖大气压至1.0×10⁻⁵Pa。阀体采用SUS304不锈钢材质，可在停止状态下承受*高150℃烘烤，驱动单元耐温为70℃。
多样化设计与丰富规格
ULVAC提供多种驱动方式与产品类型：VLP/VLB系列提供双作用气缸与单作用气缸两种驱动选择；VFR系列大型摆动阀（闸阀）则采用独特技术设计紧凑，支持360度自由安装角度，适用于OLED、光伏及平板显示器等大型真空制造设备。连接法兰可选JIS-VF、ISO-KF、ISO-K和ISO-CF四种标准，增强了系统兼容性。
总之，ULVAC真空阀凭借高密封性、丰富选型与可靠的不锈钢材质，为精密真空工艺提供了值得信赖的流体控制解决方案。
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