用于半导体和电子元件的氧气分析仪

MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860

型号：MS-500

可同时测量多达8个点
可显示从ppm级到100%的宽浓度范围
*适合用于半导体制造设备、真空设备等的安装
直插式传感器（NW 16/25/40 法兰，适用于真空）
高耐用传感器采用特殊涂层，以实现更长的使用寿命

MS-500技术参数

测量原理			氧化锆浓度电池类型
类型			分体式（转换器：壁挂式；传感器：直插式）
显示系统			4位数字显示（浓度显示）
测量范围			0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20～10-0atm 自动量程
重复性			满量程±0.5%以内；量程为0-1%或更大满量程±1%以内或±0.1 ppm，取较大者；量程小于0-1% 0-1 ppm、atm范围内的浓度不在保修范围内。
测量点数量			1～8
样品气体要求	压力		10至200千帕（**压力）
	流量		0.5 至 5,000 毫升/分钟或 0 毫升/分钟（自然分散状态下的测量值）
	湿度		露点低于环境温度
	温度		0至100°C
	其他		不得含有腐蚀性气体（氟气、氯气、硫化气等）、含有机硅的气体、易燃物质（包括气体）、油或水分
参考气体			大气
记录仪输出			仅传输输出
传输输出			RS-232C
报警输出			无
预热时间			6 分钟或更短
尺寸	MS-500（控制器）		92 毫米（宽）×44 毫米（高）×120 毫米（深）（不包括突出部分）
	MS-510（转换器）		100 毫米（宽）×40 毫米（高）×88 毫米（深）（不包括突出部分）
	传感器单元	SD16NW	总长度100毫米（传感器⌀ 11×39，主体⌀ 40×51）
		SD25NW	总长度100毫米（传感器⌀ 11×42，主体⌀ 40×48）
		SD40NW	总长度100毫米（传感器⌀ 11×41，主体⌀ 40×49）
重量	MS-500（控制器）		约0.6千克
	MS-510（转换器）		约0.5千克
	传感器单元	SD16NW	约0.2千克
		SD25NW	约0.2千克
		SD40NW	约 0.35 千克
外部连接			任意一种真空法兰（NW16、25 或 40）
电源			24VDC±10%

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产品名称：日本TORAY东丽氧气分析仪

用于半导体和电子元件的氧气分析仪

型号：MS-500

MS-500技术参数