产品详情
  • 产品名称:osakavacuum大阪真空腐蚀性气体泵送干泵

  • 产品型号:ER100D
  • 产品厂商:osakavacuum大阪真空
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简单介绍:
osakavacuum大阪真空腐蚀性气体泵送干泵ER100DC,DSP系列是一款紧凑、轻便且便携的风冷干式真空泵,具备节能、低振动和低噪音能力。除了电力外,它不需要其他公共设施。助推级在内部时,基压为0.5 Pa
详情介绍:

osakavacuum大阪真空腐蚀性气体泵送干泵ER100DC

osakavacuum大阪真空腐蚀性气体泵送干泵ER100DC



ER系列:节能多级根泵

ER系列通过其独特的转子设计和怠速功能实现了世界**的节能和紧凑性能。凭借耐腐蚀选项,ER系列可在轻型领域如负载锁和SEM到腐蚀工艺等广泛应用中运行。

ER100D/ER100DC


-ER100D/ER100DC在能源效率、轻便和紧凑性方面均为同级*佳之一。
极限压力下
能耗:400W
占地面积:0.11米
2
重量:60公斤


- 有两种类型可供选择。

ER100D:用于轻负载、非腐蚀性气体泵送
ER100DC:采用防腐材料,用于腐蚀性气体泵送


应用

- 清洁排气
系统 - 溅射系统
- TMP
的后备真空泵 - 负载锁定与转移室
- 小型实验室系统
- 小型炉子
- 分析设备
- 离子源,电子枪

模型 ER100D/ER100DC
体积流量(L/min) 1670
基压(Pa) 5.0
极限压力(W)下的能量消耗 400
电源 电压(V) 200-220
频率(Hz) 50/60
阶段 三相
功率能力(kVA) 3.2
N2气体净化通量(Pa·m3/s) 17-20
冷却系统 水冷
所需流量(L/min) 1.5-3.0
所需温度(°C) *多30人
体重(公斤) 60

[对应气体]
某些需要抽空的气体可能会损坏泵。
请联系大阪真空,获取适用的燃气类型列表。


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