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- CHINO千野温湿度计
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- UNILAM优尼光紫外灯
- POLARION普拉瑞探照灯
- AND艾安得
- JIKCO吉高浓度计
- IIJIMA饭岛酸素计
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- Axometrics美国
- ASAHI旭精工
- DSK电通荧光灯
- DNL**灯
- ORIHARA折原应力仪
- NIKKATO日陶研磨球
- NDK日本电色雾度计
- DRY-CABI德瑞卡比防潮...
产品详情
简单介绍：
EBARA荏原 低温冷却器 RJ-CA ，北崎有售，欢迎咨询。
详情介绍：
EBARA荏原 低温冷却器 RJ-CA
EBARA荏原 低温冷却器 RJ-CA
型号 RJ-CA
用于使用天然制冷剂 （CO2） 的半导体制造设备的低温冷却器
体积小，功率大
水冷
内置泵
天然制冷剂 R744 （CO₂） （GWP=1）
CE 标志/SEMI/NRTL
减少占地面积
节能
产品介绍
该冷水机将天然制冷剂 （CO2） 用于半导体制造设备。 内置的紧凑型屏蔽泵和 Ebara 的变频控制技术节省了空间和能源。 ± 0.1°C 的温度控制成为可能，有助于提高工艺稳定性和产量。
| 型 | RJ-CA1V 系列 | |||
| 冷却能力 （50Hz/60Hz） | 千瓦 | 4.0 （-10°C 时） 10.0 （20°C 时） | ||
| 温度控制范围 | °C | -20~70°C | ||
| 温度控制精度 | °C | ± 0.1 | ||
| 尺寸（宽 x 深 x 高） | 毫米 | 370 x 950 x 1080 | ||
| 质量 | 公斤 | 190 （不含循环液或冷却水） | ||
| 循环液 | 使用的流体 | FC-3283、HT135、SF-10 等 | ||
| 压力进料泵容量 | 升/分钟 | 20 （0.76MPa） | ||
| 冷却水 | 温度范围 | °C | 10~25 | |
| **标准 | SEMI（S2. S8. F47）、CE、NRTL | |||
| 权力 | V | 三相 200~208 | ||
| 运行控制方法 | 变频器控制方法 | |||
| 使用的制冷剂 | R744（二氧化碳变暖潜值：1） | |||
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