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产品详情
简单介绍：
EBARA荏原 CMP设备 F-REX300XA，北崎有售，欢迎咨询。
详情介绍：
EBARA荏原 CMP设备 F-REX300XA
EBARA荏原 CMP设备 F-REX300XA
产品介绍
搭载了新开发的高效搬运结构和WPH优化算法。保持采用单桌单头、双模块方式等荏原的高可靠性结构，进一步了提高生产效率。采用灵活的搬运结构并进一步实施防止交叉污染的措施，帮助提高成品率。此外，还采用了便于进行改造和升级的模块结构，在未来扩展功能时，也能够迅速导入新功能。此外，与F-REX300X型相比耗电量减少了约10%，并通过减少部件数量，削减了供应链中的CO2排放。支持更环保的半导体制造。
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干进干出
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研磨加工终点检测监控仪（选配）
在线膜厚检测仪（选配）
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