产品详情

所在位置: 首页> 产品目录> EABRA荏原> 废气处理设备>

查看大图

你添加了1件商品查看购物车

简单介绍：

EBARA荏原废气处理设备 G6-E-P3，北崎有售，欢迎咨询。

详情介绍：

EBARA荏原废气处理设备 G6-E-P3

G6-E型属于燃烧式废气处理装置，适合用于半导体制造工序中的外延生长装置等处所用含有大流量氢气和氯气的废气处理用途。采用紧凑式设计，*大可进行200L/min氢气处理，还能满足同时进行氢气和氯气处理的要求。标配副产物去除功能，能够降低维护成本和负荷。

规格

设备名称	单位	G6-E A1~A4	G6-E P1~P4
处理方式		燃烧式 + 湿式	燃烧式 + 湿式
*大允许流入气体量	L/min	400	400
燃料		城市燃气	丙烷气体
尺寸	W x D x H mm	1,200×650×1,900mm	1,200×650×1,900mm
H₂*大可处理流量	L/min	200	200
可处**体例		工艺（沉积）气体 H2、PH3、Si3H8、SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6等所有洁净气体 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2等所有蚀刻气体 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6等	工艺（沉积）气体 H2、PH3、Si3H8、SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6等所有洁净气体 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2等所有蚀刻气体 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6等
标准装备品		大流量H2处理燃烧器	大流量H2处理燃烧器
标准装备品		粉体去除用燃烧器刮板	粉体去除用燃烧器刮板
选项		自来水、污水使用量削减单元	自来水、污水使用量削减单元
选项		粉体排放削减用风机洗涤器	粉体排放削减用风机洗涤器

G6-E型

燃烧式废气处理装置

满足大流量氯气、氢气处理要求

批量处理多种气体

高效处理PFCs气体

副产物处理措施和粉尘自动排放功能

运行成本低

可调式运行

提高维护性能

产品留言

标题

联系人

联系电话

内容

验证码

点击换一张

注：1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有必要,请您留下您的详细联系方式!