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产品名称：COSMO科斯莫氦气泄漏测试
产品型号：LDS3000AQ
产品厂商：COSMO科斯莫
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简单介绍：

COSMO科斯莫氦气泄漏测试LDS3000AQ,北崎有售

详情介绍：

COSMO科斯莫氦气泄漏测试LDS3000AQ

COSMO科斯莫氦气泄漏测试LDS3000AQ

LDS3000 / LDS3000 AQ / P3000（XL）氦气泄漏测试

轻型紧凑型
高速检查
高灵敏度
用于系统集成

空气泄漏测试无法检测到的微小泄漏可以通过使用氦气进行检测。

基本规格

使用氦气的泄漏测试方法

真空方法如何对
工件内部进行真空

真空喷涂法
真空罩法

加压法对
工件中的氦气加压的方法

嗅探器
真空钟罩法
加压积分法
轰炸方式（工件没有加压口时）

选择测试方法的示例

每种测试方法的特点

此外，还提供氦气混合器和氦气回收装置，以降低运行成本，因此请单独与我们联系。
我们将根据初始成本和运行成本提出建议。

真空法

测试方法	真空喷涂法	真空罩法
检漏精度	1E - 09 帕·米3/sec 或更高	1E - 09 帕·米3/sec 或更高
整体测量	×	○
泄漏位置	○	×
自动化	△	○
初期成本	○	△
运行成本	△	△
维护成本	△	△
受影响的产品	LDS3000

加压方式

测试方法	真空 Bellger 法	轰炸方式	嗅探器	加压积分法
泄漏检测精度	1E-07帕米3 /sec 或更高	1E-09Pa・m3 /sec 或更高	1E-06帕米3 /sec 或更高	1E-05帕米3 /sec 或更高
整体测量	○	○	×	○
泄漏位置识别	×	×	○	×
自动化	○	○	△	○
初期成本	×	○	○	△
运行成本	×	△	×	×
维护成本	×	×	△	△
受影响的产品	LDS3000		P3000（XL）系列	LDS3000AQ

测试方法详细信息

真空法

真空喷涂法

这是一种通过对工件内部进行真空排气，用喷枪从外部喷射氦气时，检测泄漏到工件中的氦气的方法。

真空喷涂法的概念图

真空罩法

这是一种对工件内部进行真空抽真空并用罩盖住，并在罩内对氦气加压以检测泄漏到工件中的氦气的方法。

真空罩法的概念图

加压方式

嗅探器

这是一种在对工件内部进行真空抽吸后对氦气加压，然后用吸枪探头将泄漏到外部的氦气吸出以检测泄漏的方法。

嗅探器方法的概念图

真空钟罩法

这是一种将工件放置在腔室中，对工件进行抽真空，然后对氦气加压，对腔室内部进行抽真空以将泄漏到真空室中的氦气排出的方法。

真空钟罩法的概念图

加压积分法

这是一种将工件放入罩中，对工件进行抽真空，并对氦气加压，以将从泄漏点泄漏到罩内的氦气积累一段时间，并检测罩中积聚的氦气（浓度）的方法。

加压积分法概念图

轰炸方式

这是将工件放入罐中，抽真空一定时间，用氦气加压一定时间，然后将工件从罐中取出，将工件放入腔室中，对腔室进行抽真空，以检测因泄漏而进入工件的氦气。

轰炸方法的概念图

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