EBARA荏原干式真空泵 ESA80WN-HDF 北崎国际贸易（北京）有限公司

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产品名称：EBARA荏原干式真空泵
产品型号：ESA80WN-HDF
产品厂商：EBARA荏原
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简单介绍：

EBARA荏原干式真空泵 ESA80WN-HDF，北崎有售，欢迎咨询。

详情介绍：

EBARA荏原干式真空泵 ESA80WN-HDF

产品介绍

ESA型产品阵容包括1400L/min～10,000L/min排气量的机型，适合氢气等轻质气体排气，以及20,000L/min～80,000L/min排气量的机型，适合大型腔室高速排气。适合轻质气体排气的10,000L/min以下机型采用紧凑化设计，可以选择耐腐蚀性材料选配件，是MO-CVD等大流量轻质气体排气用途的*佳选择。大型机型兼具大排气量和静音低振的优点，还可选择有机溶剂排气用选配件，是LCD溅镀装置、真空干燥工艺和大型预真空锁等的*佳选择。

规格

设备名称

单位

ESA15-D

ESA25-D

ESA25XW

ESA70W(-D)

ESA70WN(-D)

ESA80W-HDF

ESA80WN-HDF

ESA100W

ESA100WN

ESA200W

ESA300W

ESA500W

ESA700W

排气速度

L/min

1,400 (50Hz)

2,500 (50Hz)

5,000 (50Hz)

7,000 (50Hz)

8,400 (50Hz/60Hz)

10,000 (50Hz/60Hz)

20,000 (50Hz/60Hz)

28,000 (50Hz)

47,000 (50Hz)

80,000 (50Hz/60Hz)

1,700 (60Hz)

3,000 (60Hz)

6,000 (60Hz)

8,400 (60Hz)

30,000 (60Hz)

50,000 (60Hz)

极限压力

400 (50Hz)

5.3 (50Hz)

0.27 (50Hz)

0.4 (50Hz)

0.13

0.27

0.13

0.27

0.53

0.5

270 (60Hz)

4.0 (60Hz)

0.13 (60Hz)

0.27 (60Hz)

连接口径

吸气口

NW40

NW50

ISO80

NW50

NW80

ISO100

ISO160

排气口

NW40

NW50

极限压力时功率概值

2.9 (50Hz)

2.6 (50Hz)

5.2 (50Hz)

3.6 (50Hz)

4.2

4.9

3.2 (50Hz)

6.6 (50Hz)

5.1 (50Hz)

7.4

3.2 (60Hz)

2.9 (60Hz)

5.8 (60Hz)

4.0 (60Hz)

3.4 (60Hz)

7.3 (60Hz)

6.7 (60Hz)

冷却水

流量

L/min

3.5~8

7~16

3.5~8

6~9

温度

℃

Max. 30

流量

Pa•m3/s

14~17 (4.6)

17~20 (3.8)

34~40

24~27 (4.7)

54~57

54~45

17~20 (3.8)

7.5~10.5

8.5~11

电源　相／电压／频率

200V机型

三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz

400V机型

三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz

460V机型

三相/440V/50Hz
三相/440-480V/60Hz

电源容量

kVA

6.4

12.8

10.3

12.6

23.7

41.3

46.5

质量概值

240

480

380

400

410

700

750

1200

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