EBARA荏原干式真空泵 EST10N 北崎国际贸易（北京）有限公司

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产品名称：EBARA荏原干式真空泵
产品型号：EST10N
产品厂商：EBARA荏原
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简单介绍：

EBARA荏原干式真空泵 EST10N，北崎有售，欢迎咨询。

详情介绍：

EBARA荏原干式真空泵 EST10N

EBARA荏原干式真空泵 EST10N

产品介绍

EST型采用螺旋型转子，搭载能够使泵内气体保持高温的高温化功能，是形成反应副产物的CVD等用途的*佳选择。标配耐腐蚀性材料，实现高排气速度和大流量排气，有助于减少停机时间，提高工艺效率。

规格

设备名称		单位	EST10N	EST25N	EST100WN	EST200WN	EST300WN	EST500WN	EST800WN
排气速度		L/min	1,000	2,500	10,000	20,000	30,000	50,000	80,000
极限压力		Pa	2.7	0.4	0.4	0.4	0.4	0.4	0.5
连接口径	吸气口		NW40	NW40	NW50	NW100	NW100	ISO160	ISO200
连接口径	排气口		NW40	NW40	NW40	NW40	NW40	NW40	NW40
到達圧力時電力概略時		kW	2.3	3.0	3.2	3.2	4.5	4.6	4.6
冷却水	流量	L/min	5~8	5~8	5~8	5~8	5~8	5~8	5~8
冷却水	温度	℃	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30
N2	流量	Pa•m3/s	13~18	13~18	24~29	24~29	28~31	28~31	28~31
电源　相／电压／频率	200V机型		三相/200-220V,50/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz
电源　相／电压／频率	400V机型		三相/380-440V,50/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	-
电源容量		kVA	4.6	7.3	8.2	8.5	12.7	15.1	16.0
质量概值		kg	260	300	380	430	500	550	840

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