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- NIKKATO日陶研磨球
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- DRY-CABI德瑞卡比防潮...
产品详情
简单介绍：
EBARA荏原 干式真空泵 EV-X200N，北崎有售，欢迎咨询。
详情介绍：
EBARA荏原 干式真空泵 EV-X200N
EBARA荏原 干式真空泵 EV-X200N
产品介绍
作为中等负荷工艺专用的干式真空泵，搭载荏原特有的节能技术，采用面向自动化工厂制造的优化模块设计，并进一步实现了小型化和节能化。
通过大范围的温度控制，扩大了适用工艺范围。因同一机型能够覆盖多种工艺，能够优化备用设备的库存，减少用于维护和培训的人力时间，并且能够灵活应对未来的工艺扩展。此外，在所有工艺中实施*佳的温度控制，从而实现工艺耐受性的提高，并且通过延长部件的更换周期，帮助减少TCoO。
应对的应用例：各种蚀刻和CVD、灰化、离子植入、外延生长等。
EV-X型
小型节能，仅需一台设备即可覆盖广泛的工艺流程
支持中等负荷工艺
支持高温化控制
节能
采用标配耐腐蚀性材料
增强耐腐蚀性的选配件
不同频率（50Hz/60Hz）下保持稳定性能
无油
可支持CE标志/SEMI-S2/NRTL
省空间化
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