产品详情
  • 产品名称:EBARA荏原 干式真空泵

  • 产品型号:EV-M802N
  • 产品厂商:EBARA荏原
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简单介绍:
EBARA荏原 干式真空泵 EV-M802N,北崎有售,欢迎咨询。
详情介绍:

EBARA荏原 干式真空泵 EV-M802N

EBARA荏原 干式真空泵 EV-M802N


品介绍


以荏原**高温技术,在半导体、液晶和太阳能电池制造工艺中,满足发生反应副产物的高负荷工艺要求。通过高度的节能性能,同时满足高负荷工艺要求和节能要求。标配耐腐蚀性材料,提供110,000L/min的大排气量机型。通过满足工艺条件要求的丰富产品阵容,能够满足大范围的高负荷工艺要求。


规格

设备名称 单位 EV-M20N EV-M102N EV-M202N EV-M302N EV-M502N EV-M505SF EV-M802N EV-M805SF EV-M1205SF
排气速度 L/min 1,800 10,000 20,000 30,000 50,000 50,000 80,000 80,000 110,000
极限压力 Pa 5.0 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5
连接口径 吸气口 NW40 ISO100 ISO100 ISO100 ISO160 ISO160 ISO200 ISO200 ISO200
排气口 NW40 NW40 NW40 NW40 NW40 NW40 NW40 NW40 NW40
极限压力时功率概值 kW 1.2 1.8 1.9 2.3 2.1 3.9 2.8 4.6 5.3
冷却水 流量 L/min 3~8 3~8 3.5~8 4~8 5~8 5~8 5~8 5~8 5~8
温度 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30
N2 流量 Pa•m3/s 26~31 26~31 26~31 26~31 28~33 228 28~33 228 34~35
电源 相/电压/频率 200V机型 三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
400V机型 三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
- 三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
电源容量 kVA 3.3 5.4 6.0 6.8 7.1 15.7 8.3 19.4 14.2
质量概值 kg 170 320 360 400 500 580 740 820 870




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