EBARA荏原紧凑干式真空泵ESA25-D 进口供应北崎国际贸易（北京）有限公司

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产品名称：EBARA荏原紧凑干式真空泵ESA25-D
产品型号：进口供应
产品厂商：EBARA荏原
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EBARA荏原紧凑干式真空泵ESA25-D

详情介绍：

EBARA荏原紧凑干式真空泵ESA25-D

ESA 型号阵容包括适用于氢气等轻质气体排气的排量为 1,400 L/min ~ 10,000 L/min 的排量型号，以及适用于大室高速排气的排量为 20,000 L/min ~ 80,000 L/min 的型号。适用于低于 10,000 L/min 的轻型气体排放，提供紧凑的设计和耐腐蚀材料选项，使其成为 MO-CVD 等高流量轻型气体排放应用的理想选择。大型型号排量大，但噪音小、振动小，可选择有机溶剂排气选项，非常适合 LCD 溅射设备、真空干燥工艺、大负载锁等。

型单位欧空盘 15-D ESA25-D 系列 ESA25XW ESA70W（-D）系列 ESA70WN（-D） ESA80W-HDF 系列 ESA80WN-高密度纤维板 ESA100W ESA100WN ESA200W ESA300W ESA500W ESA700W

抽速升/分钟 1,400 （50 赫兹） 2,500 （50 赫兹） 5,000 （50 赫兹） 7,000 （50 赫兹） 7,000 （50 赫兹） 8,400 （50 赫兹/60 赫兹） 8,400 （50 赫兹/60 赫兹） 10,000 （50Hz/60Hz） 10,000 （50Hz/60Hz） 20,000 （50 赫兹/60 赫兹） 28,000 （50 赫兹） 47,000 （50 赫兹） 80,000 （50 赫兹/60 赫兹）

1,700 （60 赫兹） 3,000 （60 赫兹） 6,000 （60 赫兹） 8,400 （60 赫兹） 8,400 （60 赫兹） 30,000 （60 赫兹） 50,000 （60 赫兹）

极限压力帕 400 （50 赫兹） 5.3 （50 赫兹） 5.3 （50 赫兹） 0.27 （50 赫兹） 0.4 （50 赫兹） 0.13 0.27 0.13 0.27 0.53 0.53 0.53 0.5

270 （60 赫兹） 4.0 （60 赫兹） 4.0 （60 赫兹） 0.13 （60 赫兹） 0.27 （60 赫兹）

连接直径进气口西北 40 西北 50 ISO80认证西北 50 西北 50 西北 50 西北 50 西北 50 西北 50 西北 80 ISO100 认证 ISO160 认证 ISO160 认证

排气口西北 40 西北 40 西北 40 西北 40 西北 40 西北 40 西北 40 西北 40 西北 40 西北 40 西北 40 西北 40 西北 50

极限压力下的近似功率千瓦 2.9 （50 赫兹） 2.6 （50 赫兹） 5.2 （50 赫兹） 3.6 （50 赫兹） 3.6 （50 赫兹） 4.2 4.2 4.9 4.9 3.2 （50 赫兹） 6.6 （50 赫兹） 5.1 （50 赫兹） 7.4

3.2 （60 赫兹） 2.9 （60 赫兹） 5.8 （60 赫兹） 4.0 （60 赫兹） 4.0 （60 赫兹） 3.4 （60 赫兹） 7.3 （60 赫兹） 6.7 （60 赫兹）

冷却水流量升/分钟 3.5~8 3.5~8 7~16 3.5~8 3.5~8 3.5~8 3.5~8 3.5~8 3.5~8 3.5~8 6~9 6~9 6~9

温度 °C *多 30 个 *多 30 个 *多 30 个 *多 30 个 *多 30 个 *多 30 个 *多 30 个 *多 30 个 *多 30 个 *多 30 个 *多 30 个 *多 30 个 *多 30 个

注 2 流量帕•m3/秒 14~17 （4.6） 17~20 （3.8） 34~40°C 24~27 （4.7） 24~27 （4.7） 54~57 元 54~57 元 54~57 元 54~45 元 17~20 （3.8） 7.5~10.5 8.5~11°C 8.5~11°C

电源相位/电压/频率 200V 型号三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz

400V 型号三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz 三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz 三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz 三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz 三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz 三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz 三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz 三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz 三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz 三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz 三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz 三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz -

460V 型号三相/440V/50Hz
三相/440-480V/60Hz 三相/440V/50Hz
三相/440-480V/60Hz 三相/440V/50Hz
三相/440-480V/60Hz

电源容量千伏安 6.4 6.4 12.8 10.3 10.3 12.6 12.6 12.6 12.6 12 23.7 41.3 46.5

近似质量公斤 240 240 480 380 380 400 400 400 400 410 700 750 1200

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