产品名称：EBARA荏原EV-M802N 节能干式真空泵

EBARA荏原EV-M802N 节能干式真空泵 

EBARA荏原EV-M802N 节能干式真空泵 

荏原 （EBARA） 独特的高温技术支持高负荷工艺，在半导体、液晶和太阳能电池的制造过程中会产生反应副产物。 由于其高节能性能，可以处理高负载过程并同时节省能源。 标配耐腐蚀材料，还提供排量为 110,000 L/min 的大排量型号。 凭借根据工艺条件的丰富产品阵容，可以处理各种高负荷工艺。

型		单位	EV-M20N 系列	EV-M102N 系列	EV-M202N 系列	EV-M302N 系列	EV-M502N 系列	EV-M505SF 系列	电动车 EV-M802N	电动叉车 EV-M805SF	EV-M1205SF
抽速		升/分钟	1,800	10,000	20,000	30,000	50,000	50,000	80,000	80,000	110,000
极限压力		帕	5	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5
连接直径	进气口		西北 40	ISO100 认证	ISO100 认证	ISO100 认证	ISO160 认证	ISO160 认证	ISO200 认证	ISO200 认证	ISO200 认证
	排气口		西北 40	西北 40	西北 40	西北 40	西北 40	西北 40	西北 40	西北 40	西北 40
极限压力下的近似功率		千瓦	1.2	1.8	1.9	2.3	2.1	3.9	2.8	4.6	5.3
冷却水	流量	升/分钟	3~8	3~8	3.5~8	4~8	5~8	5~8	5~8	5~8	5~8
	温度	°C	*多 30 个	*多 30 个	*多 30 个	*多 30 个	*多 30 个	*多 30 个	*多 30 个	*多 30 个	*多 30 个
注 2	流量	帕•m3/秒	26~31	26~31	26~31	26~31	28~33	228	28~33	228	34~35
电源相位/电压/频率	200V 型号		三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz
	400V 型号		三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	-	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz
电源容量		千伏安	3.3	5.4	6	6.8	7.1	15.7	8.3	19.4	14.2
近似质量		公斤	170	320	360	400	500	580	740	820	870