原装EBARA荏原EV-X300N干式真空泵进口供应北崎国际贸易（北京）有限公司

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产品名称：原装EBARA荏原EV-X300N干式真空泵
产品型号：进口供应
产品厂商：EBARA荏原
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简单介绍：

原装EBARA荏原EV-X300N干式真空泵

详情介绍：

原装EBARA荏原EV-X300N干式真空泵

（1）广泛的工艺覆盖范围
大流量主泵和我们独特的副产品对策支持广泛的工艺，从离子注入等低气体流量工艺到外延生长等大气体流量工艺，以及产生大量副产品（如 TiN 沉积）的工艺。还可以减少备用机器的库存并在未来扩展流程。

（2）由于新开发的模块化设计，小型化和更短的交货时间采用针对
自动化工厂制造的模块化设计进行了优化，以缩短交货时间并进一步实现小型化。随着设备和腔室数量的增加，可以高效灵活地布置承受压力的 sub-fab 空间。

（3）降低
TCoO 我们独特的转子设计和节能技术使功耗比我们目前的型号降低了 25~50%。
它有助于减少 CO2 排放。此外，每个过程的*佳温度控制提高了
工艺阻力。延长零件的更换周期有助于减少 TCoO。

型	EV-X100N	EV-X200N	EV-X300N
*大抽速（L/min）	10,000	20,000	30,000
极限压力（Pa）	0.5	0.5	0.5
电源规格	三相 200-220V （50/60Hz）	三相 200-220V （50/60Hz）	三相 200-220V （50/60Hz）
工作范围功耗（kW）*	0.9	1	1.5

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