*大可对应N2、300SLM的大流量热交换器。

HX-0300C

特点

  • *大流量300SLM
  • *高使用温度250℃

使用范例

半导体制造工艺中的干燥机

HX-0300C系列热交换器能够加热*大300SLM的流量。使用大流量的加热气体进行干燥可提高产量。此外,由于加热器部分不接触气体,因此非常适合用于需要清洁环境的半导体制造和FPD(平板显示器)制造工艺。

规格表

  流量(N2换算) 压力损失(N2) 耐压(G) 使用温度 接触气体部分材质
规格 300SLM 30kPa 1MPa 250℃ SUS316L不锈钢

※小型气体加热器、小型热交换器的产品详情请直接致电或邮件咨询LINTEC。