可*高将250SLM的N2气体加热至300℃的小型气体加热器。

特点

  • 高240㎜×宽101㎜×长75㎜的紧凑型设计
  • *大流量250SLM
  • *高使用温度300℃
  • 2台并用可以将500SLM加热至*高300℃
  • 设定温度与出口处气体温度差异较小
高温气体加热器
【HX-0301L】

使用范例

晶片翘曲矫正

晶片可能会因反复沉积而翘曲。对策之一便是用高温大流量的热风进行矫正。如果同时使用两台HX-0301系列高温气体加热器，则可以产生300℃、500SLM的高温大流量，是晶片翘曲矫正的理想选择。

规格表

  流量(N2换算) 压力损失(N2) 耐压(G) 使用温度 接触气体部位材质
规格 250SLM 94kPa 1MPa 300℃ SUS316L不锈钢

※小型气体加热器、小型热交换器的产品详情请直接致电或邮件咨询LINTEC。