瞬间高效率流体加热技术产品HX系列。
小型气体加热器的用途
- 可加热各种流体
- 瞬间且稳定的流体加热
- 质量流量控制器(MFC)输出端的气体加热
各种流体加热
该系列加热器搭载SUS316L不锈钢材质的加热模块，加热部分与流体不直接接触，可以瞬间加热没有腐蚀性的流体。
瞬间且稳定的流体加热
在配管中流动的气体具有很难被加热和冷却的特点。
通常，配管中的流体通过配管外部的带状加热器加热。但这种方式存在缺点，即难以使热量传递到中心部位。HX系列热交换器可以将热量瞬间传递到流体中心，从而达到稳定加热的目的。
质量流量控制器(MFC)输出端的气体加热
在半导体制造工艺中，不仅需要对气体进行加热处理，气体还需要在加热前接受流量控制。为了在加热器的输入端设置质量流量控制器以控制流量，加热器(输出端)则需采用低压降结构。LINTEC自主研发的HX系列加热器具备低压降结构，适合与质量流量控制器输出端连接使用。
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