LINTEC林泰克微小流量汽化器 UV-206 北崎国际贸易（北京）有限公司

用液体质量流量计测量质量及流量，采用后置汽化器将对全部液体进行汽化的方式。

直接汽化法的基本原理

直接汽化法使用液体质量流量计进行质量测量，并通过汽化器内置的控制阀将流量控制后的液体连续引入汽化室。在汽化室中，液体被瞬间汽化。虽然所控制的是液体，但瞬间汽化后的气体质量不会改变，因此，如果是可以瞬间连续汽化的汽化器，液体主要的质量流量=汽化器出口处的气体质量流量。

由于汽化浓度的要素由MFC直接控制，因此稳定性优越，可进行高浓度汽化，这是鼓泡法难以实现的。

搭载压电控制阀，对应微小流量汽化需求的小型液体汽化器。

汽化室附近搭载能够进行高速、高精度微小流量控制的压电致动器。该结构的死体积较小。

*大支持TEOS 7g/min，H2O g/min汽化量的紧凑型汽化器。通过将载气（*大流量14SLM）和液体混合并引入汽化室，可以实现稳定的汽化供给。

该汽化器采用紧凑型设计，结构小巧，即使在连续的微小流量下也能实现**的流量汽化供给，且不受输出端的压力影响。

除了半导体制造工艺中经常使用的TEOS外，还可以对TEB和TEPO等各种液体进行汽化供给。此外，还可以通过串联汽化器同时汽化供应多种液体。

*高温度	载气流量	*大H2O汽化流量	*大TEOS汽化流量	密封材
160℃	0.1~14SLM	0.5g/min	7g/min	Au

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