产品名称：RION理音空气粒子控制器

0.1 μm 以上特殊供气系统的清洁度控制

• 直接测量惰性气体、腐蚀性气体、反应气体等。

• 使用 SUS 管道 （VCR)

• 规范

  光学系统方式	横向散射法
  光源	二极管激光器（波长 830 nm，额定功率 200 mW）
  粒度分类	0.1 μm 或更高、0.15 μm 或更高、0.2 μm 或更高、0.3 μm 或更高、0.5 μm 或更高的 5 个级别
  额定流量	100 毫升/分钟
  *大颗粒计数浓度	30,000 个/mL（计数丢失在 5% 以内）
  权力	AC100 V~240 V，40 VA（包括外部电源 KZ-50（随附））
  大小	约 135 毫米（水平）× 280 毫米（宽）× 150 毫米（深）毫米（不包括突出部分）
  重量	约 6.5 kg

  
  
• RION理音 空气粒子控制器 KS-93
• RION理音 空气粒子控制器 KS-93
  
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