产品名称：LINTEC林泰克 数字通讯质量流量控制器

LINTEC林泰克 高性能数字通讯质量流量控制器 MC-3102L

LINTEC林泰克 高性能数字通讯质量流量控制器 MC-3102L

简 介
MC-3000L系列是可以确保精度于 ±1%S.P.(设定值)范围内的高性能数字通讯质量流量控制器
特 点
确保精度于±1%S.P.(设定值)范围内采用标准 RS-485 数字通讯接口
搭配 LINTEC **的环境温度补足式质流传感器勺置微处理器提高处理效能
控制阀由具有极小闭死容积的隔膜阀构造所组成采用高速度，高性能的压电控制阀
使用耐久性高、密闭性高的金属密封件,维护性提高采用金属外壳以及各种滤波器，在高磁噪音及直流磁场的环境下亦能维持其安定性

高性能数字通讯质量流量控制器MC-3000L
可确保精度范围在±1%S.P.（设定值）的高性能数字通讯质量流量控制器。
搭配LINTEC**的环境温度补足式质流传感器，即使在低温下也能实现高精度的流量测量。 它可抑制由于传感器受热而导致的老化劣化，可以对臭氧等高度可降解的气体进行流量控制。
可搭载的选配规格包括：液化气体、小流量 F.S.、大流量范围、表面实装和接头名称。
特点
精度范围±1%S.P.
使用温度5~50℃
金属密封件
无尘生产（粒子标准监控）
周围温度补偿式传感器
RS-485数字通讯接口
选配规格
小流量F.S.
液化气体
大流量范围
使用范例
半导体生产前端工艺
由于CVD（化学气相沉积法）、ALD（原子层沉积法）镀膜设备和蚀刻设备中使用高活性气体，因此具有高耐腐蚀性金属密封的气体质量流量控制器至关重要。
此外，前驱体在常温常压下含有大量液化气体，因此具有耐热性且不易液化的阀门结构很重要。 选择LINTEC高性能质量流量控制器MC-3000L，则可选配【液化气体】【*高工作温度50°C（可选至55°C）】等相应规格。
分析设备
分析设备可能需要控制极小流量，但一般质量流量控制器的*小F.S.为5SCCM，因此无法对应。 MC-3000L高精度质量流量控制器可选配F.S.1SCCM或更低流量范围。
此外，高性能质量流量控制器MC-3000L还标配死体积较小的隔膜阀。