产品名称：LINTEC林泰克 DeviceNet® 质量流量控制器

LINTEC林泰克 DeviceNet® 质量流量控制器  MC-5250L
LINTEC林泰克 DeviceNet® 质量流量控制器  MC-5250L

DeviceNet质量流量控制器MC-5000L
DeviceNet通讯接口专用质量流量控制器。
*新的半导体制造设备上所搭载的控制器不再采用模拟通讯，而是采用开放式现场网络通讯技术，以达到高速控制和简化布线的目的。
在LINTEC，我们**于行业开发了符合SEMI认证标准的DeviceNet™通讯专用质量流量控制器MC-5000L。该系列产品配备了半导体制造工艺所需的金属密封件和LINTEC**的环境温度补足式质流传感器，还支持液化气体等多种选配规格。
特点
精度范围±1%S.P.
使用温度5～50℃
金属密封件
无尘生产（粒子标准监控）
环境温度补足式质流传感器
DeviceNet™通讯
选配规格
小流量F.S.
液化气体
大流量范围
使用范例
配线简化，节省成本
越来越多的半导体设备采用现场网络进行控制操作。DeviceNet通讯专用MFC （MC-5000L）不需要AD/DA转换器或IO板，具有成本低，配线少的特点。
简 介
MC-5000L系列主要是根据 SEMI标准所制成的 DeviceNet 通讯接口质量流量控制器特点
通讯接口采用传感器驱动网络 DeviceNet (ODVA)。(ODVA SEMI SIG MFC Profile)可依需求选择机台上侧或旁侧的通讯接口插座搭配 LINTEC **的环境温度补偿式质流传感器内置微处理器提高处理效能
控制阀由具有极小闭死容积的隔膜阀构造所组成
采用高速度，高性能的压电控制阀
使用耐久性高、密闭性高的金属密封件,维护性提高采用金属外壳以及各种滤波器，在高磁噪音及直流磁场的环境下亦能维持其安定性