产品名称：LINTEC林泰克 EtherCAT® 质量流量控制器

LINTEC林泰克  EtherCAT® 质量流量控制器  MC-5470C
LINTEC林泰克  EtherCAT® 质量流量控制器  MC-5470C

简 介MC-5000C系列主要是根据 SEMI标准所制成的 EtherCAT® 通讯接口质量流量控制器特 点
通讯接口采用 SEMI E54.20-1108 标准的 EtherCAT®搭配 LINTEC **的环境温度补偿式质流传感器内置微处理器提高处理效能
控制阀由具有极小闭死容积的隔膜阀构造所组成
采用高速度，高性能的压电控制阀
使用耐久性高、密闭性高的金属密封件,维护性提高采用金属外壳以及各种滤波器，在高磁噪音及直流磁场的环境下亦能维持其安定性
EtherCAT质量流量控制器MC-5000C
用于半导体生产工艺的高性能质量流量控制器的EtherCAT通讯版本，符合SEMI认证。 EtherCAT通讯用于半导体制造设备的高速传输系统。
标配包括半导体制造工艺所需的金属密封件和LINTEC**的环境温度补足式质流传感器，支持液化气体等选配规格。
特别之处
精度范围±1%S.P.
金属密封
无尘生产(粒子标准监控)
环境温度补足式质流传感器
EtherCAT 通信
选配规格
小流量 F.S.
液化体
Large-flow 范围
使用范例
EtherCAT通讯设备的统一化
越来越多的半导体制造设备配备了EtherCAT通讯接口（数字I/F），用于高速控制机械臂等运输系统。 EtherCAT通讯有65,536个节点，MFC的所有测量系统和驱动系统元件都可以与EtherCAT通讯统一。