产品名称：TSI美国VPG-A3 在线过滤器2920-01-5001

TSI美国VPG-A3 在线过滤器2920-01-5001

TSI美国VPG-A3 在线过滤器2920-01-5001

VPG-A3 蒸汽工艺气体过滤器是一种超低压降、高效的在线过滤器，专为蒸汽和工艺气体过滤而设计。这款受**保护的 316L SS 过滤器具有耐化学性和耐热性，可在高达 100 SLPM 的压力下使用。该过滤器的压降极低，使其更容易在超低压环境中工作，并降低了过滤器中发生气相反应的风险。

产品详情

传统的高纯度使用点气体过滤器用于压缩气体管路中，用于去除颗粒。VPG-A3 过滤器还在真空流动条件下用于蒸发器的下游，以防止可能存在于气体/蒸汽混合物中的颗粒进入化学气相沉积 （CVD） 或原子层沉积 （ALD） 工艺室。VPG-A3 过滤器由 316L SS 烧结粉末介质制成，表面积大，使用寿命长。

应用

• 蒸汽工艺气体
• 超高纯气体
• 高温
• 惰性或反应性气体
• 高真空和超高真空
• 半导体制造

特性和优势

• 316 不锈钢
• 表面积大 – 使用寿命长
• 使用高达 100 SLPM
• 颗粒去除效率高
• 超低压降
• 1/2“ VCR 配件

受**保护的设计