高性能数字通讯质量流量控制器MC-3000L

可确保精度范围在±1%S.P.（设定值）的高性能数字通讯质量流量控制器。可搭载的选配规格包括：液化气体、小流量 F.S.、大流量范围、表面实装和接头名称。

特点

由于CVD（化学气相沉积法）、ALD（原子层沉积法）镀膜设备和蚀刻设备中使用高活性气体，因此具有高耐腐蚀性金属密封的气体质量流量控制器至关重要。

此外，前驱体在常温常压下含有大量液化气体，因此具有耐热性且不易液化的阀门结构很重要。选择LINTEC高性能质量流量控制器MC-3000L，则可选配【液化气体】【*高工作温度50°C（可选至55°C）】等相应规格。

分析设备可能需要控制极小流量，但一般质量流量控制器的*小F.S.为5SCCM，因此无法对应。 MC-3000L高精度质量流量控制器可选配F.S.1SCCM或更低流量范围。

此外，高性能质量流量控制器MC-3000L还标配死体积较小的隔膜阀。

详情请致电或邮件咨询。

温度	*下压差	*大压差	精度	控制范围	*小F.S.	*小F.S.	密封件
_5～50℃	_50kPa	_300kPa	_±1%S.P.	_2~100%F.S.	_5SCCM	_400SLM	_Au

Lintec 琳得科高性能数字通讯质量流量控制器 MC-3000L

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