产品名称：RION理音 液体粒子计数器

光刻胶溶液和 SOG 中的颗粒可以测量 0.15 μm 以上的颗粒

• 可连接到多点监控系统

• 规范

  光学系统方式	横向散射法
  光源	二极管激光器（波长 830 nm，额定功率 200 mW）
  接液材料	合成石英，PFA
  粒度分类	0.15 μm ~ 0.5 μm 范围内的 10 个级别运输：0.15 μm、0.2 μm、0.3 μm、0.5 μm 或更高的 4 个级别
  额定流量	10 毫升/分钟
  *大颗粒计数浓度	1,200 单位/mL（计数丢失在 5% 以内）
  权力	DC12 V（由 KE-40B1 供电）
  大小	约 160 毫米（水平）× 300 毫米（宽）× 251 毫米（深）毫米（不包括突出部分）
  重量	约 7.5 kg

  RION理音 液体粒子计数器 KS-41A
• RION理音 液体粒子计数器 KS-41A