产品名称：RION理音 液体粒子计数器

光刻胶溶液和 SOG 中的颗粒可以在 0.1 μm 范围内测量

• 可连接到多点监控系统

• 规范

  光学系统方式	横向散射法
  光源	用半导体激光器泵浦的固体激光器（波长 532 nm，额定功率 500 mW）
  接液材料	合成石英，PFA
  粒度分类	0.1 μm ~ 0.5 μm 范围内的 10 个级别（可选 0.07 μm，用于纯水等透明液体） 运输：0.1 μm 或更高、0.15 μm 或更高、0.2 μm 或更高、0.3 5 个 ≥ μm 和 ≥ 0.5 μm 的水平
  额定流量	5 毫升/分钟
  *大颗粒计数浓度	9,600 单位/mL（计数丢失在 10% 以内）
  权力	DC12 V（由 KE-40B1 供电）
  大小	约 164 毫米（水平）× 464 毫米（宽）× 305 毫米（深）毫米（不包括突出部分）
  重量	约 12.5 kg

  RION理音 液体粒子计数器 KS-41B 系列
• RION理音 液体粒子计数器 KS-41B 系列